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电子工业专用设备

电子工业专用设备Equipment for Electronic Products Manufacturing 전자공업전용설비

期刊简介:本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的办刊宗旨。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。

获奖情况:2001~2002年度标准化规范化部级奖,获2003~2004年度出版质量部级奖
主办单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所
主编:葛劢翀
出版周期:双月刊
语种:中文
国际刊号:1004-4507
国内刊号:62-1077/TN
影响因子:0.38
文献量:3964
被引量:12842
下载量:140072
基金论文量:164
电话:010-64443110,64655251
邮政编码:100029
地址:北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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共有 260 篇文献
题名
作者: 胡杨 蔡坚 曹立强 陈灵芝 刘子玉 石璐璐 王谦年/期:2012/11被引:69 下载:554
作者: 柳滨 杨元元 王东辉 詹阳年/期:2016/1被引:32 下载:498
作者: 贺东葛 王家鹏 刘国敬年/期:2018/3被引:26 下载:404
作者: 《电子工业专用设备》编辑部年/期:2010/1被引:11 下载:373
作者: 何田年/期:2004/10被引:132 下载:363
作者: 严宇才 张端年/期:2011/4被引:33 下载:322
作者: 本刊编辑部年/期:2009/1被引:7 下载:308
作者: 赵璋 童志义年/期:2011/3被引:57 下载:288
作者: 纪秀峰年/期:2011/7被引:16 下载:258
作者: Stefan Wurm年/期:2010/2被引:4 下载:258

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