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摘要:压电微音叉与钨探针结合,构成SPM(扫描探针显微镜)的扫描测头.将双测头对称置于微球的赤道圆截面处,构成微球球度差动测量系统.通过视觉引导系统对双测头进行粗对准,用视频显微镜对微球和测头分别聚焦,拍摄多组照片,然后对对准图像进行小波分析边缘检测及多图像融合处理,再将图像处理结果反馈到系统进行精确对准.在实际实验中,获得了该对准方法下微球赤道圆截面的测量结果,并分析了对准误差对系统测量结果带来的影响....
[硕士论文] 芈梦
测试计量技术及仪器 合肥工业大学 2019(学位年度)
[专利] 发明专利 CN201710597841.9
合肥工业大学 2017-09-29
摘要:本发明公开了一种可实现纳米三坐标测量机微球探头球度高精度测量的方法,将大长径比钨探针与石英音叉结合,结合精密微动台构建具有纳米级分辨力的扫描探针测头,测量时,两扫描探针测头由微动台驱动通过差动方式扫描微球在x轴方向上的大圆截面轮廓,扫描过程中产生的径向误差可以通过差动自动消除,从而获取微球大圆截面轮廓的准确参数,再将微球旋转一定角度后重复上述测量,获取多组大圆截面轮廓参数,利用所获特征点拟合构建微球三维立体空间轮廓,并以此进行微球几何参数计算,实现微球球度的高精度测量。本发明具有测量力小、测量范围广、测量精度高的特点。
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