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[期刊论文] 王胜涛 卢维尔 王桐 夏洋
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EI CSTPCD 北大核心
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摘要:石墨烯具有高载流子迁移率、高热导率、高力学强度等独特性能, 可应用于微电子器件、生物传感器、燃料电池、储能器件等, 在许多领域拥有广阔的发展前景.如何转移得到少残胶、无破损的石墨烯是其在电子器件中应用必须解决的问题.常规的基于铜刻蚀法的石墨烯转移技术存在因聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA) 溶解不彻底、残留在石墨烯表面而造成污染的不足.鉴于此, 本工作提出了PMMA/PVA双支撑膜辅助铜刻蚀法, 即在铜刻蚀法中引入高水溶性的聚乙烯醇 (PVA, 醇解度98%) 作为高强度PMMA和石墨烯之间的阻隔层, 构成双支撑膜.光学显微镜 (OM) 、拉曼 (Raman) 光谱及电学性能测试的结果表明, 该方法转移得到的石墨烯残胶少、表面洁净, 具有高的结晶特性, 并且其背栅场效应晶体管 (BGFET) 表现出良好的载流子迁移率.此外, 该方法操作简便, 同时还是一种潜在的用于多种二维材料转移的普适技术....
[硕士论文] 王胜涛
光学工程 北京交通大学 2018(学位年度)
摘要:X射线显微成像技术能够对样品的内部结构实现高分辨率的无损伤观测,有着高分辨率、高穿透性、丰富的衬度机制以及友好的成像环境等特点。此技术在微电子、生命科学、材料科学等领域有着广泛的应用前景。波带片是X射线显微成像技术中实现聚焦和成像的关键元件。波带片环带的几何参数直接影响了成像的分辨率,而当X射线能量较大时,需要足够的波带片厚度(或称为高度),才能获得高衍射效率,因此要求X射线波带片具有大的高宽比。大高宽比X射线波带片的传统制作工艺复杂,价格昂贵。本文的工作,采用原子层沉积和聚焦离子束切割技术相结合的方法,探索了大高宽比X射线波带片的批量制备方法,主要研究结果如下:
  (1)计算了金波带片高度、X射线能量、衍射效率之间的关系。计算了四种材料组合(HfO2/Al2O3、HfO2/SiO2、Ir/Al2O3、Au/air)的波带片,在不同X射线能量下(5keV、8kev、10keV、15keV、20keV、24keV)的衍射效率,结合材料的成膜特点及工艺匹配来分析,进行波带片叠层材料的选择和结构设计工作。
  (2)探究了原子层沉积技术制备氧化铝和氧化铪薄膜的工艺条件,考察了沉积温度100℃-300℃时,在氧化铝和氧化铪薄膜的生长速率,表征了氧化铪和氧化铝薄膜的原子比和表面粗糙度。
  (3)在硅片和钨丝衬底上表征了实验工艺对20nm和10nm氧化铪和氧化铝等厚叠层的控制能力。利用原子层沉积技术,在电化学抛光法制备的直径为30μm的钨丝上沉积氧化铝和氧化铪薄膜叠层。经聚焦离子束切割,最终完成高度为10μm(高度不受限)、最外环宽度为10nm、高宽比为1000的波带片制作。初步实现了超大高宽比X射线波带片的制备。为后期相关工作者提供了一定研究基础和参考价值。
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