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[期刊论文] 孙占鹏 李佳 欧文
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CSTPCD 北大核心
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摘要:针对室内环境舒适度及安全性监测需求,设计并实现了一种基于多传感器的室内环境监测系统.在分析并比较反向传播(BP)神经网络、径向基函数(RBF)神经网络、支持向量机(SVM)、遗传算法优化的BP神经网络在此应用中的性能与误差的基础上,在Android端实现了ISO国际标准的PMV热舒适度算法及有害气体浓度预警算法,从而实现室内空气质量的各参数的实时监测,并能更好地预测火灾等高危险灾害.此系统可全面反映室内的空气质量,让居民能更有针对性地改善自己的居住环境....
摘要:报道了一种基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器.该器件采用双层热偶排布方式可进一步减小器件横向尺寸,同时采用XeF2各向同性正面刻蚀技术释放形成微腔结构,该技术避免了湿法腐蚀工艺复杂、不易控制等缺陷.在器件制备的基础上,对该器件在不同真空度条件下的响应特性进行了测试,测试结果表明该器件在常温下的真空响应上限达105 Pa.而不同加热功率条件下,该器件的响应灵敏度随着加热功率的增大呈增大趋势....
摘要:针对现有的MEMS湿度传感器制备工艺复杂、灵敏度较低等问题,文中报道了一种基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器,该器件的感湿材料是利用等离子技术对聚酰亚胺进行表面修饰制备的,该方法简单且与CMOS工艺兼容。同时文中对同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料和纳米化聚酰亚胺材料的两种器件在不同湿度条件下的电容响应特性进行了测试,测试结果表明,在相对湿度50%~80%范围内,基于纳米化聚酰亚胺材料的器件灵敏度高于同样结构基于亚胺化聚酰亚胺材料器件约50%。...
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