绑定机构
扫描成功 请在APP上操作
打开万方数据APP,点击右上角"扫一扫",扫描二维码即可将您登录的个人账号与机构账号绑定,绑定后您可在APP上享有机构权限,如需更换机构账号,可到个人中心解绑。
欢迎的朋友
万方知识发现服务平台
获取范围
  • 1 / 1
  (已选择0条) 清除 结果分析
找到 6 条结果
摘要:滤波器是信号传输系统中的重要组件.提出一种快速、高精度复制工艺方法,用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器.采用多层匀胶单次紫外曝光工艺(硅片上匀SU-8胶),制备出的滤波器高度误差小于0.03%(3μm),陡直度误差小于1.1°.实验结果表明,用该方法制备毫米波滤波器技术可行,并取得了卓越的电磁性能(关于:插入损耗,回波损耗和带宽).最终测试结构可知,通带内的插入损耗测得结果小于0.5 dB,几乎可以忽略不计,在整个通带内回拨损耗大于10 dB.结果表明,这种快速制造技术是制备太赫兹射频器件的一种有效办法,这种新技术将成为推动太赫兹射频器件未来发展的主要动力.
摘要:针对目前MEMS工艺里由于微电铸铸层内应力导致的金属微结构与基底容易脱离的问题和不足,提出一种借助盲孔填充技术制备微电极阵列的方法。选择KMPR作为胶模材料,首先通过UV-LIGA工艺制备出180μm厚的阵列孔缝胶模结构,然后在胶模表面溅射Cu种子层,优化电铸工艺参数:电铸前采用真空润湿的方法排出孔缝内气泡,电铸液中加速剂与抑制剂浓度分别为4×10-6 mol/L和24×10-6 mol/L,电流密度为1 A/dm2,在孔缝内电铸铜,并在胶模表面电铸出铜基底,最后获得了高180μm,线宽200μm的两种柱状金属微电极阵列。试验结果表明,盲孔填充技术是一种低成本、安全的制作金属微电极阵列的方法。
摘要:提出了一种基于MEMS开关的射频衰减器设计方案。首先对整体电路的基础结构进行了设计,选择以CPW(共面波导)为传输线,接触式MEMS开关作控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡电容进行Q值匹配;其次,通过理论推导与计算得到了波导的截面尺寸;然后按所需衰减量计算T型网络各个电阻的阻值大小。再按照计算值在CST微波工作室中建模仿真,对比单级衰减和展频二级衰减的S参数,可以发现,在Q值匹配后的电路中,射频信号可以在更宽的频段内保持稳定衰减。最后通过UV-LIGA技术结合氧化钽电阻工艺对衰减器进行了样片试制与结果测试。结果表明,通过Q值匹配可以扩展衰减器的工作频段,为高频信号的稳定衰减提出了一种可行性方案。
[硕士论文] 杨昕
仪器仪表工程 中北大学 2017(学位年度)
摘要:随着MEMS技术的不断发展,微机电系统在光学、电子学、生物医学等其他领域的应用逐渐增多。而微电铸工艺作为MEMS工艺中的关键部分,也得到了越来越多研究者的重视。
  微细阵列电极由多根排列整齐的微细电极组合而成,具有许多非常优良的电化学性能,在微细加工和生物科学等领域应用广泛。
  本文选取三维金属微细阵列电极为加工对象,首先对所要加工的微电极阵列进行了特征尺寸的标定,然后对基于种子层位置的两种电铸生长方式盲孔填充、模具成型过程的原理做了简单的介绍,接着对实验中选择的KMPR光刻胶与BPN-65A光刻胶的基本性质以及甩胶、烘胶、曝光等参数都做了具体的探究,然后指出了电镀与电铸的异同之处,并对电镀液的反应机理以及镀液中各成分的作用和工艺条件对电镀效果的影响都做了详细的分析。
  接着进行了微电极阵列的加工制备,分别使用KMPR光刻胶与BPN光刻胶甩出指定的厚度,经前烘、紫外曝光、后烘、显影等步骤制备出所需胶模结构,根据电铸方法的不同,分别在甩胶前与后烘后进行了种子层的溅射,溅射金属为铜,约300nm(前烘前溅射时,先溅射一层粘附层金属层铬约50nm,再溅射种子层),选择190g/mL的CuSO4·5H2O、60g/L的H2SO4、70mg/L的氯离子以及适量的添加剂配置成的电铸液,并采用酸性铸铜工艺,设置电流密度1.5A/dm2,进行电铸,经抛光处理后,分别得到了三种截面形状的多种微细阵列电极,最后在场发射扫描电子显微镜下对所制得的微细阵列电极进行了观察比对。
  论文从工艺的角度出发,以微电极阵列为研究对象,对KMPR光刻胶、BPN光刻胶以及盲孔填充和模具电铸两种电铸填充方式做了简单的探究,对今后微电极的加工以及微电铸的研究提供了一定的帮助。
摘要:提出了一种小型宽频带的六边形缝隙天线.通过在接地面的中心位置刻蚀出六边形缝隙并加载和缝隙形状相似的的寄生贴片实现了天线的宽频带.用仿真软件HFSS对天线进行仿真分析,并对天线进行了实际测试.结果表明,所提出的天线的带宽达到了9 GHz(3.50~12.50 GHz),阻抗相对带宽达到了113%,频带内电压驻波比小于2,阻抗匹配良好,同时,在整个频带内,增益均大于3.5 dB,最大增益达到4.5 dB,测试结果和仿真结果基本上一致.该天线可应用于宽频带无线通信系统.
  (已选择0条) 清除
公   告

北京万方数据股份有限公司在天猫、京东开具唯一官方授权的直营店铺:

1、天猫--万方数据教育专营店

2、京东--万方数据官方旗舰店

敬请广大用户关注、支持!查看详情

手机版

万方数据知识服务平台 扫码关注微信公众号

学术圈
实名学术社交
订阅
收藏
快速查看收藏过的文献
客服
服务
回到
顶部