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首页 > 期刊首页 >哈尔滨工程大学学报 >2015年3期  > 线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备
线形同轴耦合微波等离子体诊断及硅薄膜制备
Diagnosis of linearly coaxially coupled microwave plasma and preparation of silicon thin films
摘要: 开发了一种新型线形同轴耦合大面积微波等离子体源,针对该新型等离子体源放电空间等离子密度及分布的不明确性,利用朗缪尔单探针法研究了不同放电参数下该等离子体源等离子体密度及空间分布情况。以微波功率,氢氩总流量(氢氩流量比为3∶1)和距石英管的距离Z为3个因素设计正交实验探究了宏观放电参量对等离子体参数的影响。测试结果表明该型等离子体源的电子密度均在1010 cm...   查看全部>>
Abstract:

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