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首页 > 期刊首页 >固体电子学研究与进展 >2003年4期  > 电容式MEMS开关中弹性膜应力对驱动电压的影响
电容式MEMS开关中弹性膜应力对驱动电压的影响
The Effect of the Stress of Springs Membrane on Actuation Voltage of MEMS Capacitive Switches
摘要: 详细分析了多种参数对MEMS电容式开关驱动电压的影响,包括材料选取和工艺参数变化,并对驱动电压理论值进行计算.利用表面微机械加工技术在硅衬底上实现了电容式开关,测试结果表明采用Al0.96Si0.04弹性膜和厚胶牺牲层工艺能获得适中的剩余应力释放,微桥应力约为106 N/m2,这为获得较低的开关驱动电压提供了可能.对长1 mm的MEMS开关,当弹性膜厚为0....   查看全部>>

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