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首页 > 期刊首页 >光电工程 >2014年8期  > 镀制方式对高衰减镍铬合金膜中性度的影响
镀制方式对高衰减镍铬合金膜中性度的影响
The Influence of Different Coating Process on Density Neutrality of Deep Attenuation Ni-Cr Film
摘要: 对比了用不同镀制工艺方式镀制的Ni80Cr20膜中性密度滤光片的中性度特性,溅射工艺镀制的密度片中性度值3.7%,远好于电子枪蒸发和电阻蒸发镀制结果(15%)。采用相平衡理论,模拟计算了的热蒸发镀制的镍铬合金膜的蒸发速率,铬相比镍含量偏高2.8倍,导致了膜层中合金含量相对膜料出现较大差异,导致中性密度滤光片光谱中性度的下降。使用蔡司SUPRA35扫描电镜和牛...   查看全部>>
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