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首页 > 期刊首页 >传感技术学报 >2004年3期  > MEMS悬臂式开关的失效分析
MEMS悬臂式开关的失效分析
Fatigue Analysis of MEMS Cantilevered Switch
摘要: 介绍了一种表面微机械系统开关,悬臂材料为Au/SiOxNy/Au铬金作为电欧姆接触.用静电激励(激励电压为13 V)方式,测试其隔离度.获得结果为微机械开关在1~40 GHz的范围内隔离度可高达35 dB.我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命.结果寿命接近105,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理.  

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