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首页 > 期刊首页 >半导体学报 >2002年9期  > 高阻硅基铝硅合金弹性膜MEMS相移器
高阻硅基铝硅合金弹性膜MEMS相移器
MEMS Phase Shifter with AlSi Alloy Membrane on High-Resistivity Silicon
摘要: 级联式MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化,来改变传输线的特性阻抗和相速,达到相移的目的.文中讨论了MEMS相移器特性对微机械电容和下拉电压的要求,并通过轻质量的铝硅合金弹性膜,获得了较低的下拉电压.测试结果表明,相移器的下拉电压不大于40V,且当控制电压大于10V时,即有明显的相移.该MEMS相移器制备于电阻率大于4000Ω*cm...   查看全部>>

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